DTAD

Aufruf zur Interessenbekundung - Beschaffung Rapid Thermal Annealing-Gerät zur hochreinen thermischen Prozessierung von Halbleiterscheiben in Marburg (ID:5702814)

Auftragsdaten
Titel:
Beschaffung Rapid Thermal Annealing-Gerät zur hochreinen thermischen Prozessierung von Halbleiterscheiben
DTAD-ID:
5702814
Region:
35043 Marburg
Auftragsart:
Nationale Ausschreibung
Nationale Ausschreibung
Dokumententyp:
Aufruf zur Interessenbekundung
Aufruf zur Interessenbekundung
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
11.12.2010
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kategorien:
Sonstige Dienstleistungen
CPV-Codes:
Halbleiter
Vollständige Bekanntmachung
Informationen ausblenden
Anzeigen

Beschaffung Rapid Thermal Annealing-Gerät zur hochreinen thermischen Prozessierung von Halbleiterscheiben

Interessenbekundungsverfahren "formloser Teilnahmewettbewerb vor Beschränkten

Ausschreibungen oder Freihändigen Vergaben"

HAD-Referenz-Nr.:69/266

Aktenzeichen:UMR-2010-0028

1.Auftraggeber (Vergabestelle):Offizielle Bezeichnung:Philipps-Universität

Marburg, Zentraler Einkauf

Straße:Biegenstrasse 10

Stadt/Ort:35037 Marburg

Land:Deutschland

Zu Hdn. von :Herr Ewald Lauer

Telefon:06421-2826020

Fax:06421-2822112

Mail:lauer@verwaltung.uni-marburg.de

2.Art der Leistung :Sonstige (z.B. Konzessionen, gemischte Aufträge)

3.Bezeichnung des Auftrags durch den Auftraggeber:Beschaffung Rapid Thermal

Annealing-Gerät zur hochreinen thermischen Prozessierung von Halbleiterscheiben

4.Form des Verfahrens: formloses Bewerbungsverfahren mit Angebotsabgabe

5.Frist, bis zu der die Interessenbekundung eingegangen sein muss:

Angebotsfrist:20.12.2010 12:00 Uhr

6.Leistungsbeschreibung

Art und Umfang des Auftragsgegenstandes :

Rapid Thermal Annealing (RTA)-Gerätes zur hochreinen thermischen Prozessierung

von Halbleiterscheiben

Mit diesem Gerät sollen III/V-Verbindungshalbleiterscheiben auf einem SiC-

beschichteten Graphitsuszeptor mit einem Durchmesser bis zu 4 und Si-Scheiben

direkt bis zu einem Durchmesser von 6 ausgeheizt werden. Das Gerät soll eine

Quarzkammer in einem Edelstahlgeh?use aufweisen und eine IR-Lampenheizung für

Ausheiztemperaturen von Zimmertemperatur bis 1200?C mit Aufheizraten von

150?C/sec für direkt geheizte Si-Scheiben und von 40?C/sec unter Verwendung

eines Suszeptors ermöglichen. Als Prozessgaslinie soll N2-Trägergas mit einem

Massenflu?regler und einem Abschaltventil eingesetzt werden. Weitere Proze?gase

sollen als Option für bis zu 5 Kan?len aufrüstbar sein. Das Vakuumsystem muß

neben den erforderlichen Vakuummessger?ten und Schaltventilen eine

Trockenl?ufervorpumpe und eine Turbomolekularpumpe besitzen. Alle Komponenten

des Systems müssen über eine Computersteuerung in einer

Mehrfachnutzerkonfiguration ausgelesen und angesteuert werden können. Der

Proze?ablauf muss über entsprechende Computerprogramme automatisch gesteuert

und kontrolliert werden. Im Angebotspreis ist die Aufstellung, die

Inbetriebnahme und die Einweisung in das Gerät sowie alle erforderlichen

Hardwarekomponenten, Software und entsprechende Lizenzen einzuschließen. Der

Nachweis der Eignung des Gerätes für die hochreine Prozessierung von III/V-

Verbindungshalbleiter- und Si-Scheiben ist zu garantieren und durch eine

Aufstellung der bisherigen Nutzer nachzuweisen.

Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)

Hauptgegenstand:

31712330 Halbleiter

Erg?nzende Gegenstände:

Ort der Ausführung / Erbringung der Leistung :Hans-Meerwein-Str., 35043 Marburg

NUTS-Code : DE724 Marburg-Biedenkopf

Zeitraum der Ausführung :

Die Lieferung des Gerätes muss spätestens 12 Wochen nach Auftragserteilung

erfolgen.

7.Wertungsmerkmale:

Bewerbungsbedingungen:siehe beigefügte Unterlagen.

Auswahlkriterien:Preis

Funktion

Anwendungsnachweis

Garantie

Service

Lieferzeit

9.Auskünfte erteilt:Offizielle Bezeichnung:Philipps-Universität Marburg,

Wissenschaftliches Zentrum für Materialwissenschaften

Straße:Hans-Meerwein-Straße

Stadt/Ort:35043 Marburg

Land:Deutschland

Zu Hdn. von :Herr Prof. Dr. W. Stolz

Telefon:06421/28-25696

Fax:06421/28-28935

Mail:wolfgang.stolz@physik.uni-marburg.de

digitale Adresse(URL):http://www.uni-marburg.de

10.Vergabeunterlagen anzufordern bei:Offizielle Bezeichnung:Philipps-

Universität Marburg, Zentraler Einkauf

Straße:Biegenstrasse 10

Stadt/Ort:35037 Marburg

Land:Deutschland

Zu Hdn. von :Herr Ewald Lauer

Telefon:06421-2826020

Fax:06421-2822112

Mail:lauer@verwaltung.uni-marburg.de

11.Sonstige Angaben:Bitte das Angebot per Post oder Mail (lauer@verwaltung.uni-

marburg.de) bis zum 20.12.2010 / 12 Uhr zustellen.

Tag der Veröffentlichung in der HAD:07.12.2010

DTAD
Sie sind noch kein registrierter Kunde?
Sie sind noch kein registrierter Kunde?
Testen Sie den DTAD kostenlos und unverbindlich
Mit dem kostenlosen und unverbindlichen Testzugang des DTAD erhalten Sie vollen Zugriff auf diese Ausschreibung sowie jährlich weitere 600.000 aktuelle Aufträge und Ausschreibungen.
 
Login für registrierte Kunden
Benutzername:
Passwort:

DTAD
Jetzt kostenlos testen