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Ausschreibung - Beschichtungsanlage in Emmerthal (ID:11595403)

Übersicht
DTAD-ID:
11595403
Region:
31860 Emmerthal
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Nationale Ausschreibung
Nationale Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Verfahrensart:
Öffentliche Ausschreibung
Kategorien:
Labormöbel, -Einrichtung, Sonstige Maschinen, Geräte
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Kurzbeschreibung:
Nach technischer Klärung möchten wir Sie bitten, ein Angebot für eine Beschichtungsanlage für die Herstellung von hydrophoben/hydrophilen Antireflex- oder Korrosionsschutzschichten mittels...
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
15.02.2016
Frist Angebotsabgabe:
03.03.2016
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Beteiligte Firmen & Vergabestellen
Auftraggeber:
Institut für Solarenergieforschung GmbH
Ansprechpartner:
R. Reineke-Koch
Tel.: +49(0)5151-999-431
E-Mail: r.reineke-koch@isfh.de

Öffentliche Ausschreibungen
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Geschäftsbeziehungen
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Leistungsbeschreibung
Beschreibung:
Nach technischer Klärung möchten wir Sie bitten, ein Angebot für eine Beschichtungsanlage für die Herstellung von hydrophoben/hydrophilen Antireflex- oder Korrosionsschutzschichten mittels PECVD-Verfahren zu erstellen.
Die Anforderungen sind im Einzelnen:
Prozesskammer mit Proben-Schleuse oder Probendurchsatz mindestens 2 Proben/Stunde
HMDSO Verdampfer, geregelter MFC
Gase O2, Ar, geregelte MFC´s
Gase CH4 oder C2H4, H2, Ar
HF- oder gepulste DC-Anregung für isolierende Substrate und Schichten (Gläser, Si)
Proben-Temperatur von Raumtemperatur bis mindestens 400°C
Schichtdicken-Homogenität bei Fläche 156x156 mm und Schichtdicke 100nm < d < 200 nm kleiner als 5%.
Prozess-Steuerung manuell oder rezept-basiert, Steuerung von Gradienten beim Schichtwachstum
Probendurchsatz: Üblicher Laborbedarf, mindestens 2 Proben/Stunde (bei d=100 nm)
Sicherheitseinrichtung für Abgase

Erfüllungsort:
31860 Emmerthal Niedersachsen

Lose:
nein

Planungsleistungen:
nein

Nebenangebote:
nicht zugelassen

Verfahren & Unterlagen
Verfahrensart:
Öffentliche Ausschreibung

Dokumententyp:
Ausschreibung

Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)

Termine & Fristen
Angebotsfrist:
03.03.2016

Bedingungen & Nachweise
Sprache:
Deutsch

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