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Ausschreibung - Beschichtungsanlage in Emmerthal (ID:11595405)

Übersicht
DTAD-ID:
11595405
Region:
31860 Emmerthal
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Nationale Ausschreibung
Nationale Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Verfahrensart:
Öffentliche Ausschreibung
Kategorien:
Labormöbel, -Einrichtung, Sonstige Maschinen, Geräte
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Kurzbeschreibung:
Nach technischer Klärung möchten wir Sie bitten, ein Angebot für eine Beschichtungsanlage für reaktives Co-Sputtern von Oxiden und Nitriden mit wenigstens zwei metallischen Komponenten zu...
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
15.02.2016
Frist Angebotsabgabe:
03.03.2016
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Beteiligte Firmen & Vergabestellen
Auftraggeber:
Institut für Solarenergieforschung GmbH
Ansprechpartner:
R. Reineke-Koch
Tel.: +49(0)5151-999-431
E-Mail: r.reineke-koch@isfh.de

Öffentliche Ausschreibungen
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Geschäftsbeziehungen
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Leistungsbeschreibung
Beschreibung:
Nach technischer Klärung möchten wir Sie bitten, ein Angebot für eine Beschichtungsanlage für reaktives Co-Sputtern von Oxiden und Nitriden mit wenigstens zwei metallischen Komponenten zu erstellen.
Die Anforderungen sind im Einzelnen:
Prozesskammer mit Proben-Schleuse
Probengröße 156x156, 100x100, 50x50 und 25x25 mm, Proben-Dicke 1-5 mm
Co-Sputtern von zwei Metallen (DC oder gepulstes DC)
Reaktives Co-Magnetron-Sputtern mit zwei unabhängig gesteuerten Metall-Targets (Reaktivgase O2, N2, Äthylen, Prozessgas Ar), Gasflüsse MFC-geregelt.
Regelung von 3) und 4) mittels Plasma-Emissions-Monitoring (PEM)
2 RF-Magnetron-Sputterquellen unabhängig von 3)
Vorbereite Geometrie für In-situ-Beobachtung des Beschichtens von 3) mit spektraler Ellipsometrie ohne Prozessregelung (Ellipsometrie nicht im Leistungsumfang)
Schichtdicken-Homogenität bei Fläche 156x156 mm und Schichtdicke 100nm < d < 300 nm kleiner als 5% (metallisch) sowie kleiner als 10% (reaktiv, voll oxidiert)
Proben-Temperatur von Raumtemperatur bis mindestens 300°C
Prozess-Steuerung manuell oder rezept-basiert
Steuerung muss Abscheidung mit Gradienten im Verlauf der Beschichtung erlauben (Variation des Metall-Reaktiv-Gas-Verhältnisses, Variation des Verhältnisses der beiden Metalle)
Probendurchsatz: Üblicher Laborbedarf, mindestens 2 Proben/Stunde

Erfüllungsort:
31860 Emmerthal Niedersachsen

Lose:
nein

Planungsleistungen:
nein

Nebenangebote:
nicht zugelassen

Verfahren & Unterlagen
Verfahrensart:
Öffentliche Ausschreibung

Dokumententyp:
Ausschreibung

Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)

Termine & Fristen
Angebotsfrist:
03.03.2016

Bedingungen & Nachweise
Sprache:
Deutsch

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