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Ausschreibung - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10012416)

Übersicht
DTAD-ID:
10012416
Region:
80686 München
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vergabe in Losen:
nein
Kurzbeschreibung:
SI-Dünnfilmbeschichtungsanlage. SI-Dünnfilmbeschichtungsanlage. Es soll eine Zweikammer-Sputteranlage beschafft werden. Zu den geforderten Funktionen des Equipments gehört die Abscheidung...
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
07.10.2014
Frist Angebotsabgabe:
03.11.2014
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Beteiligte Firmen & Vergabestellen
Vergabestelle:
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27c
80686 München
Frau Lönz
http://www.fraunhofer.de

Elektronischer Zugang zu Informationen:
http://www.deutsche-evergabe.de

Elektronische Einreichung von Angeboten und Teilnahmeanträgen:
http://www.deutsche-evergabe.de

 
Weitere Auskünfte erteilen:
Fraunhofer Gesellschaft e. V. über Vergabeportal deutsche-eVergabe
Wilhelmstr. 20-22
65185 Wiesbaden
Telefon: +49 6119491060
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de

Angebote oder Teilnahmeanträge sind zu richten an:
Fraunhofer Gesellschaft e. V. über Vergabeportal deutsche-eVergabe
Wilhelmstr. 20-22
65185 Wiesbaden

Ausschreibungs- und ergänzende Unterlagen verschicken:
Fraunhofer Gesellschaft e. V. über Vergabeportal deutsche-eVergabe
Wilhelmstr. 20-22
65185 Wiesbaden

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Geschäftsbeziehungen
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Leistungsbeschreibung
Beschreibung:
SI-Dünnfilmbeschichtungsanlage.
SI-Dünnfilmbeschichtungsanlage.
Es soll eine Zweikammer-Sputteranlage beschafft werden. Zu den geforderten Funktionen des Equipments gehört die Abscheidung metallischer Gläser von Legierungstargets sowie die Abscheidung nanoskalierter (Multi-)Schichtsysteme auf unterschiedlichen Substraten der Mikrosystemtechnik und Mechatronik. Mit der Anlage sollen in 2 getrennten Prozesskammern Metalle, Metalllegierungen, Keramiken, Oxide und andere Halbleiter typische Materialen abgeschieden werden. Die Sputteranlage soll in der Lage sein, neben Metalllegierungen in einem Co-Sputterprozess auch ternäre Multilagensysteme (mehr als 75 Einzellagen) der vorangehend genannten Materialien als homogene Schichten bei definierten Substrattemperaturen auf einer Substratgröße von bis zu 8 Zoll Durchmesser in-situ abzuscheiden. Die Temperierung der Substrate mit aktiver Kühlung in einer Prozesskammer und einem beheizbaren Chuck in der anderen Prozesskammer ist neben der Verfügbarkeit von RF- und DC-Sputterquellen ein wesentlicher Bestandteil des Gesamtsystems. Die Sputteranlage soll darüber hinaus mit einem automatischen Handlersystem ausgerüstet sein, um die Wafer in-situ zwischen den Prozesskammern und der Ladekammer zu transferieren. Da der Stellplatz der Anlage im Reinraum begrenzt ist, sollte für alle Komponenten eine Stellfläche von 5 500 x 3 000 mm² bei einer Maximalhöhe von 2,50 m mit Raum für die Bedienung des Systems nicht überschreiten. Eine Auflistung der Anforderungen an die Sputteranlage ist der Ausschreibung zu entnehmen.
1 Stück.

CPV-Codes: 42990000

Erfüllungsort:
Chemnitz.
Nuts-Code: DED11

Verfahren & Unterlagen
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren

Dokumententyp:
Ausschreibung

Vergabeordnung:
Lieferauftrag

Org. Dok.-Nr:
338603-2014

Aktenzeichen:
BM 134/248650/cl-Ols

Vergabeunterlagen:
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Termine & Fristen
Angebotsfrist:
03.11.2014

Ausführungsfrist:
Laufzeit in Monaten: 6 (ab Auftragsvergabe)

Bedingungen & Nachweise
Zahlung:
Siehe Verdingungsunterlagen.

Zuschlagskriterien:
Wirtschaftlichstes Angebot

Geforderte Nachweise:
Persönliche Lage des Wirtschaftsteilnehmers
— Firmenprofil.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,
— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,
— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde,
— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.

Technische Leistungsfähigkeit
— Komplette Referenzen von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre.

Bitte beachten Sie: Die Darstellung des Dokumentes auf dieser Seite wurde angepasst. Die ursprüngliche Version finden Sie hier.
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