DTAD

Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10094871)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10094871
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
28.10.2014
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Sputter-Clusteranlage. Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
Informationen ausblenden
Anzeigen
Org. Dok.-Nr:  366329-2014

Vorinformation

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27 c
Zu Händen von: Frau Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: die oben genannten Kontaktstellen
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e. V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung & Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II.B: Auftragsgegenstand (Lieferungen oder Dienstleistungen)
II.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
Sputter-Clusteranlage.
II.2) Art des Auftrags und Ort der Lieferung bzw. Ausführung
Lieferauftrag Dresden. NUTS-Code DED2
II.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
II.4) Kurze Beschreibung der Art und der Menge bzw. des Werts der Waren
bzw. Dienstleistungen: Beschaffung Sputter-Clusteranlage. Beschreibung: Die Anlage(n) muss 6 Prozesskammern für die Materialien Ti/TiN, Al, AlSiCu (Gruppe 1) und AlSiTi, TiAl, Al2O3 (Gruppe 2) bieten. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung von 200 mm Si-Substraten in einem ISO 4 Reinraum zur Herstellung von Leitbahnen, Diffusionsbarrieren und Oberflächen-MEMS-Strukturen vorgesehen. — Aufbau: – Mainframe mit 2 Eingabestationen und 6 individuell ansteuerbaren Prozesskammern. – Die Materialen einer Gruppe müssen sich zwingend an einem Mainframe befinden. – Robotersystem, dass den frei programmierbaren Transfer der Wafer von den Standard-Kassetten in den Eingabestationen durch sämtliche Kammern in beliebiger Reihenfolge gewährleistet. – Eine Möglichkeit zum Ausheizen (min. 200 °C) und Ar-Plasma Vorreinigung der Wafer. – Eine Möglichkeit, die Wafer nach der Entnahme aus der Kassette und vor dem Transfer in die Kammern auszurichten. – Eine Möglichkeit zur Kühlung der Substrate vor dem Rücktransport in die Kassette. – 3 Prozess-Kammern müssen auf mind. 200 °C beheizbar sein. – Bei allen Prozesskammern lässt sich der Target-Substratabstand rezeptgesteuert variieren und die Waferauflage mit einem Substrat-Bias versehen. – Mindestens eine Kammer muss die Möglichkeit zur Prozessdruckkontrolle über eine PID-gesteuerte Drosselklappe bieten. – Mindestens eine (vorzugsweise alle) Kammer ist mit einem Shutter versehen, um das Target ohne Dummy-Wafer einsputtern zu können. – Es müssen unabhängig von den Eingabestationen mind. 5 Dummy-Wafer in der Anlage zur Konditionierung der Targets vorgehalten und im Rezeptablauf programmierbar sein. – Alle Prozesskammern sind mit Ar als Prozessgas versehen, mind. 2 Kammern zusätzlich mit O2 und mind. 2 Kammern zusätzlich mit N2. — Eigenschaften: – Die Anlage ist nach dem aktuellen Stand der Technik mit allen notwendigen Einrichtungen versehen, um qualitativ hochwertige, homogene Schichten (< 1 % 1) zu erzeugen. – Das abgeschiedene Al2O3 darf keine Absorption bis 190 nm Wellenlänge aufweisen. – Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management, die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP und verfügt über eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES). – Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen. Lose Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42990000
II.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
24.10.2014
DTAD
Zugehörige Dokumente
Alle Informationen anzeigen
Anzeigen
Sie sind noch kein registrierter Kunde?
Sie sind noch kein registrierter Kunde?
Testen Sie den DTAD kostenlos und unverbindlich
Mit dem kostenlosen und unverbindlichen Testzugang des DTAD erhalten Sie vollen Zugriff auf diese Ausschreibung sowie jährlich weitere 600.000 aktuelle Aufträge und Ausschreibungen.
 
Login für registrierte Kunden
Benutzername:
Passwort:

DTAD
Jetzt kostenlos testen