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Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10094888)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10094888
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
28.10.2014
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Ofenanlage. Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  366346-2014

Vorinformation

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27 c
Zu Händen von: Frau Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: die oben genannten Kontaktstellen
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e. V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung & Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II.B: Auftragsgegenstand (Lieferungen oder Dienstleistungen)
II.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
Ofenanlage.
II.2) Art des Auftrags und Ort der Lieferung bzw. Ausführung
Lieferauftrag Dresden. NUTS-Code DED2
II.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
II.4) Kurze Beschreibung der Art und der Menge bzw. des Werts der Waren
bzw. Dienstleistungen: Beschaffung Ofenanlagen zur Halbleiterfertigung (IPMS-Budget-Titel: BEoL.FURN.01 / BEoL.FURN.02). Beschreibung: Die Anlage(n) muss 8 individuell steuerbare Prozess-Rohre bieten. Diese können horizontal oder (vorzugsweise) vertikal angeordnet und zur Bearbeitung von jeweils mindestens 50 Prozess-Wafern im Batch geeigenet sein. Die Rohre sind für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung von 150 mm und 200 mm Si-Substraten in einem ISO 4 Reinraum zur Herstellung von SiO2-Schichten, für Temperungen und zur Belegung mit Phosphorylchlorid vorgesehen. — Aufbau: – 5 Rohre für Trocken- und Feucht-Oxidation bis 1 100 °C, – 1 Rohr für Temperungen mit N2/H2 bis 500 °C, – 1 Rohr für Phosphorylchlorid-Belegung bis 1 100 °C, – 1 Rohr für Reflow-Prozesse mit O2/N2 bis 1 100 °C, – Rohr-Reinigungs-System mit HCl oder (vorzugsweise) DCE, – Roboter-System für die Wafer-Handhabung (Kassette > Boot > Kassette). — Eigenschaften: – Umrüstungsfreier Parallelbetrieb von 150 mm und 200 mm Substraten, – Die Anlage ist nach dem aktuellen Stand der Technik mit allen notwendigen Einrichtungen (z. B. Boot-Rotation) versehen, um qualitativ hochwertige, homogene Schichten zu erzeugen, – Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.), – Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management, die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES). Lose Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42990000
II.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
24.10.2014
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