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Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10123783)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10123783
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
04.11.2014
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Inline Parametertester. Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  374878-2014

Vorinformation

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27c
Zu Händen von: Frau Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: Fraunhofer Gesellschaft e. V. über
Vergabeportal deutsche-eVergabe
Wilhelmstr. 20-22
65185 Wiesbaden
DEUTSCHLAND
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e. V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung und Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II.B: Auftragsgegenstand (Lieferungen oder Dienstleistungen)
II.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
Inline Parametertester.
II.2) Art des Auftrags und Ort der Lieferung bzw. Ausführung
Lieferauftrag Dresden NUTS-Code DED21
II.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
II.4) Kurze Beschreibung der Art und der Menge bzw. des Werts der Waren
bzw. Dienstleistungen: Beschaffung Inline-Parametertester. Der Inline Parametertester soll während der Waferprozessierung elektrische Parameter ermitteln und bewerten. Es müssen Wafer-Durchmesser von 150-300 mm sowie Waferdicken von 390 … 1 200 µm bearbeitbar sein. 1 Bestandteile der Anlage: Waferprober, Interface- und Dockingsystem mit Manipulator, Testsystem, Steuer- und Auswertesoftware. 2 Spezifikationen: 2.1 Waferprober: Wahlfreies Handling von 150 mm, 200 mm und 300 mm Wafern aus Kassetten bzw. FOUP, Chucktemperatur: -40 °C…+ 200 °C, automatische Probemark-Iinspektion, automatisches Probe to Pad Alignment, optisches und/oder kapazitives Profiling, automatische Nadelhöhenausrichtung, Reinraumklasse 1 im Innenraum des Probers bei allen Chucktemperaturen, Licht- und EMV-dichte Abschirmung. 2.2 Interface- und Dockingsystem mit Manipulator: möglichst geringer manueller Aufwand zum Wechseln der Probecard und Andocken des Testkopfs, Triaxiale Ausführung des Kontaktsystems für geringste Leckströme, Möglichkeit für das hardwareseitige Einbinden zusätzlicher Messgeräte. 2.3 Testsystem: Parametrisches Testsystem mit mindestens 48 Kanälen (Kelvinmessung 2 x 24 Kanälen), Triaxiale Ausführung für geringste Leckströme, Messgeräte für statische und gepulste Messung: Medium-Power SMU, High-Power SMU, RLC bzw. C/V-Messgerät, DVM. 2.4 Steuer- und Auswertesoftware: Erstellung der Testprogramme durch IPMS-Testingenieure (Graphische Oberfläche bevorzugt). Anbindung der Steuersoftware an IPMS-Datenbanklösung über definierte und offengelegte Schnittstellen (ASCII-Datei, TCP/IP, COM). Wahlfreie Übergabe von allen gemessenen oder berechneten Parametern und Kennlinien an IPMS-Datenbank. Übergabe von Step- bzw. Map-Informationen aus der IPMS-Datenbank über definierte Software-Schnittstellen. Low- und High-Level Steuerung von Messgeräten und Prober über definierte Hardware-Schnittstellen (z. B. RS232, TC/IP, GPIB) muss möglich sein. 2.5 Sonstiges: Alle erforderlichen Normen und Unfallverhütungsvorschriften werden eingehalten. Die Anlage besitzt das CE-Zeichen. Eine wartungsarme Konstruktion ist anzustreben. Der Aufbau erfolgt so, dass für notwendigen Wartungen oder Fehlersuche ein möglichst geringer Aufwand notwendig ist. Anhand der übergebenen technischen Unterlagen ist IPMS in der Lage, einfache Fehler selbst zu erkennen und zu beheben. Die Anlage muss für den Dauerbetrieb in einer Reinraumklasse 10 (ISO 4) ausgelegt sein und ohne Operatoreingriff eine störungsfreie Betriebszeit von mindestens 12 h absolvieren. Der Aufstellort ist der Reinraum des IPMS. Am Aufstellort sind 230 V, Vakuum und Druckluft verfügbar. Betriebssystem Windows 7 oder aktuelle Linux-Distributionen. Maschinenzustandsmeldung über optische und akustische (abschaltbar) Signale. Lose Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42990000
II.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
31.10.2014
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