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Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10123785)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10123785
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
04.11.2014
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
CD-SEM Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  374880-2014

Vorinformation

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Hansastr. 27c
Zu Händen von: Frau Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: Fraunhofer Gesellschaft e.V. über
Vergabeportal deutsche-eVergabe
Wilhelmstr. 20-22
65185 Wiesbaden
DEUTSCHLAND
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e.V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung & Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II.B: Auftragsgegenstand (Lieferungen oder Dienstleistungen)
II.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
CD-SEM
II.2) Art des Auftrags und Ort der Lieferung bzw. Ausführung
Lieferauftrag Dresden NUTS-Code DED2
II.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
II.4) Kurze Beschreibung der Art und der Menge bzw. des Werts der Waren
bzw. Dienstleistungen: CD-SEM Ein zu beschaffendes CD-SEM soll für die MEMS-Fertigung im IPMS-Reinraum die Messung der kritischen Dimension von Stegen, Gräben und Kontaktlöchern bis hin zu minimalen Strukturbreiten von 350 nm für leitende und nichtleitende Materialien erlauben. CD (Critical Dimension) Messbereich: 0,1 – 8 µm Auflösung: 3,0 nm Wiederholgenauigkeit: 5 nm oder ± 1% (3) (es gilt der jeweils größere Wert) Messobjekte: Stege, Gräben, Kontaktlöcher, Pfosten Wafergröße: 150 mm Wafer und 200 mm Wafer. Nach Möglichkeit einfache Umrüstung von 200 mm Wafer auf 150mm und zurück in kurzer Zeit. Vergrößerung: 1 000x – 200 000x Defektmonitoring: Es sollte möglich sein, KLARF-files o.ä. zu laden, so dass auch Defekte gezielt halbautomatisch angefahren werden können. Detektoren: SE und BSE Beschl-Spannung: 0.3…1,5 kV Partikelzuwachs: keine Partikel >1µm und ≤ 2 Partikel 0.2µm…1 µm pro Messung eines 200 mm Wafers. Lose Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42990000
II.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
31.10.2014
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