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Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10128984)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10128984
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
05.11.2014
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Produktionsanlage zur Polymerentfernung. Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  376728-2014

Vorinformation

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27 c
Zu Händen von: C2 – Frau Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über
Vergabeportal eVergabe
Wilhelmstraße 20-22
65185 Wiesbaden
DEUTSCHLAND
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e. V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung und Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II.B: Auftragsgegenstand (Lieferungen oder Dienstleistungen)
II.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
Produktionsanlage zur Polymerentfernung.
II.2) Art des Auftrags und Ort der Lieferung bzw. Ausführung
Lieferauftrag Dresden NUTS-Code DED21
II.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
II.4) Kurze Beschreibung der Art und der Menge bzw. des Werts der Waren
bzw. Dienstleistungen: Beschreibung: Die Anlage muss 200 mm Wafer von der Vorder- und Rückseite mit organischen Lösungsmitten (z.B. EKC) reinigen können sowie im Anschluss den Wafer trocknen können. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung in einem ISO 4 Reinraum zur Entfernung von Polymerresten nach Metallätz-Prozessen (z.B. AlSiCu, TiAl) vorgesehen. Aufbau: — Einkammer-Konfiguration für Losgröße 25 Wafer (optional 50 Wafer); — 4 Tanks für 2 verschiedene organischen Chemikalien (EKC <90°C, IPA Raumtemperatur) und DI-Wasser (Raumtemperatur), 2 beheizbare Tanks, 2 zirkulierende Tanks; — Trockenschleuder (20-2 000 rpm +/- 1 %); — Alle medienberührenden Oberflächen müssen kompatibel mit verwendeten Chemikalien und Gasen sein; — Auswahl folgender Prozessschritte: für EKC, IPA- DIW Spül- sowie Spray-Funktion, N2 zur Trocknung; — Prozessrezepteinstellungen (z.B. Temperatur, Bearbeitungszeit, chemischer Fluss usw.) und chemische Konzentrationen werden in-situ gemessen und vom Benutzerschnittstellencomputer kontrolliert. Eigenschaften: — Die Anlage ist nach dem aktuellen Stand der Technik mit allen notwendigen Einrichtungen versehen, um die Wafer einwandfrei reinigen und trockenen zu können. — Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.) — Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management (Microsoft Office kompatibel), die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie ein dokumentiertes Kommunikationsprotokoll zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware. Lose Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42990000
II.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
3.11.2014
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