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Vergebener Auftrag - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10168810)

Übersicht
DTAD-ID:
10168810
Region:
80686 München
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Vergebener Auftrag
Vergebener Auftrag
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Kurzbeschreibung:
Plasmaätzanlage – BM 038/228188/cl-Ols. Plasmaätzanlage Centura gebraucht mit 3 Kammern: Gegenstand: automatische Anlage zur Entwicklung und Herstelung von CMOS- Halbleiterbauelementen im Bereich...
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
14.11.2014
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Beteiligte Firmen & Vergabestellen
Vergabestelle:
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastraße 27c
80686 München
Carla Lönz
Telefon: +49 8912053229
Fax: +49 8912057547
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
http://www.fraunhofer.de

Auftragnehmer:
Semiconductor Support Services Co.
4715 Steiner Ranch Blvd.
US-TX 78732 Austin

Öffentliche Ausschreibungen
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Gewerbliche Bauvorhaben
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Gewonnene / Vergebene Aufträge
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Geschäftsbeziehungen
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Leistungsbeschreibung
Beschreibung:
Plasmaätzanlage – BM 038/228188/cl-Ols.
Plasmaätzanlage Centura gebraucht mit 3 Kammern:
Gegenstand: automatische Anlage zur Entwicklung und Herstelung von CMOS- Halbleiterbauelementen im Bereich 0.8µm – 0.15µm, Kassette-zu- Kassette.
Wafergröße: 200 mm, SEMI, Kerbe.
Anlagentyp: Mehrkammeranlage Typ AMAT Centura Hauptrahmen 1 oder 2.
Konfiguration: eine MxP + Ätzkammer.
2 super-e-Typ (oder neuere Generation) Siliziumoxid ätzkammern.
GEM/SECS-Verbindung.
Prozess: Ätzen von Isolationsgräben bis 0.8 µm Breite und 3 µm-10 µm Tiefe.
Ätzen von Kontakten, Zwischenmetallisolationskontakten und Passivierungsöffnungen.
Einzelheiten gem. separat zu definierender Spezifikationen.
Die Abnahme beinhaltet mindestens einen Prozeß pro Kammer.
Sonstiges – eine vierte Kammer ( z. B. Typ DPS) muss nachrüstbar sein.
— alle benötigten Komponenten inklusive, außer Vorpumpen und Abgasreinigungssystem (Empfehlung erwünscht),
— gebrauchte, aufgearbeitete Anlage bevorzugt.
Option: optional sollte das Angebot auch die zusätzliche Poly-DPS-Kammer beinhalten.
Gegenstand: automatische Anlage zur Entwicklung und Herstelung von CMOS- Halbleiterbauelementen im Bereich 0.8 µm-0.15 µm, Kassette-zu-Kassette.
Wafergröße: 200 mm, SEMI, Kerbe.
Anlagentyp: Mehrkammeranlage Typ AMAT Centura Hauptrahmen 1 oder 2.
Konfiguration: eine MxP+ Ätzkammer.
2 super-e-Typ (oder neuere Generation) Siliziumoxid ätzkammern.
GEM/SECS-Verbindung.
Prozess: Ätzen von Isolationsgräben bis 0.8 µm Breite und 3 µm-10 µm Tiefe.
Ätzen von Kontakten, Zwischenmetallisolationskontakten und Passivierungsöffnungen.
Einzelheiten gem. separat zu definierender Spezifikationen.
Die Abnahme beinhaltet mindestens einen Prozeß pro Kammer.
Sonstiges – eine vierte Kammer ( z. B. Typ DPS) muss nachrüstbar sein.
— Alle benötigten Komponenten inklusive, außer Vorpumpen und Abgasreinigungssystem (Empfehlung erwünscht),
— Gebrauchte, aufgearbeitete Anlage bevorzugt.
Option: optional sollte das Angebot auch die zusätzliche Poly-DPS-Kammer beinhalten.
Gegenstand: MERIE Plasmaätzkammer.
Wafergröße: 200 mm, SEMI, Kerbe.
Anlagentyp: Nachrüstkammer für die existierende Anlage AMAT Centura C185, an Position. D.
Konfiguration: eine M x P R2 zum Strukturieren von Wolframbahnen.
Prozess: Strukturierung von 1.2 µm-0.35 µm weiten W-Bahnen (Lackmaske).
Die Abnahme beinhaltet mindestens einen Ätzrozeß.
Einzelheiten gem. separat zu definierender Spezifikationen.
Sonstiges – alle benötigten Komponenten inklusive, außer Vorpumpe und Abgasreinigungssystem (Empfehlung erwünscht).
— Monchromator-Endpunktsystem.
— Elektrostatischer Waferhalter.
— Gebrauchte, aufgearbeitete Kammer bevorzugt.

CPV-Codes: 42990000

Erfüllungsort:
Duisburg.
Nuts-Code: DEA12

Verfahren & Unterlagen
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren

Dokumententyp:
Vergebener Auftrag

Vergabeordnung:
Lieferauftrag

Org. Dok.-Nr:
388793-2014

Aktenzeichen:
BM 038/228188/cl-Ols

Bedingungen & Nachweise
Zuschlagskriterien:
Wirtschaftlichstes Angebot

Sonstiges
Tag der Zuschlagsentscheidung: 22.10.2014
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4

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