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Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10373634)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10373634
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
24.01.2015
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Trockenätzanlage. Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  26247-2015

Vorinformation

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27 c
Zu Händen von: Frau Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: die oben genannten Kontaktstellen
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e. V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung und Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II.B: Auftragsgegenstand (Lieferungen oder Dienstleistungen)
II.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
Trockenätzanlage.
II.2) Art des Auftrags und Ort der Lieferung bzw. Ausführung
Lieferauftrag Dresden. NUTS-Code DED2
II.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung: nein
II.4) Kurze Beschreibung der Art und der Menge bzw. des Werts der Waren
bzw. Dienstleistungen: Kurz-Spezifikation/Vorinformation Seite: 1/1. Beschaffung Trockenätzanlage zur Halbleiterfertigung (IPMS-Budget-Titel: BEoL.ETC_.02). Beschreibung: Cluster System mit einer Ätz-Kammer, welches auf bis zu 3 Ätzkammern erweiterbar sein muss. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung von 200 mm Si-Substraten von 390-1 200 µm Dicke in einem ISO 4 Reinraum zum Ätzen von Siliziumoxid und amorphem Silizium mit Fluorchemie vorgesehen. — Aufbau: • Ätzkammer mit ES-Chuck. • Vorrichtung zum Ausrichten der Wafer. • Mindestens eine, vorzugsweise 2 Eingabestationen für Standard-Kassetten. • Robotersystem, dass den frei programmierbaren Transfer der Wafer von den Standard-Kassetten in den Eingabestationen durch sämtliche Kammern in beliebiger Reihenfolge gewährleistet. • Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management, die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP und verfügt über eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES). • Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen. — Eigenschaften: • Ätzung von Bor-dotiertem a-Si für Spacer-Anwendungen; Schichtdicken 150-1 000 nm; Ätzrate > 300 nm/min; Selektivität zum Photolack > 3,5; minimale CD = 400 nm; Aspektverhältnis 3; Stop auf Metall; frei von Chlor-Resten. • Ätzung von Siliciumdioxid für Kontaktlöcher, Bond-Pads und Hartmasken; Schichtdicke bis zu 6 µm; Siliciumdioxid aus verschiedenen Herstellungsverfahren (thermisches Oxid, PECVD-BPSG, PECVD-PSG, PECVD-TEOS); Ätzrate > 350 nm/min; Selektivität zum Photolack > 3,5; Selektivität zu AlSiCu > 10; Ätzprofil > 85°; minimale CD = 400 nm; Aspektverhältnis 3. • Ätzung von ARC-Schichten (i-Con) bis 120 nm Dicke. • Randausschluss < 5 mm. Lose Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42990000
II.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
21.1.2015
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