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Vergebener Auftrag - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10410418)

Übersicht
DTAD-ID:
10410418
Region:
80686 München
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Vergebener Auftrag
Vergebener Auftrag
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Kurzbeschreibung:
Sputteranlage – BM 038/228335/cl-ort. Sputter-Tool: Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) Sputter-Tool. In diesem Sputter-Tool werden 8“ (200 mm) Wafer nach...
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
05.02.2015
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Beteiligte Firmen & Vergabestellen
Vergabestelle:
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastraße 27c
80686 München
Carla Lönz
Telefon: +49 8912053229
Fax: +49 8912057547
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
http://www.fraunhofer.de

Auftragnehmer:
Teltec GmbH
Am Moosbach 6
DE-74535 Mainhardt

Öffentliche Ausschreibungen
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Gewerbliche Bauvorhaben
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Leistungsbeschreibung
Beschreibung:
Sputteranlage – BM 038/228335/cl-ort.
Sputter-Tool:
Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) Sputter-Tool. In diesem Sputter-Tool werden 8“ (200 mm) Wafer nach den im „Lastenheft“ aufgeführten Spezifikationen prozessiert.
Das System besteht aus mindestens 4 Prozess-Kammern (ein Sputter-Target pro Kammer). Diese vier Kammern werden für unsere Standard-Produktion mit den Materialien Ti/TiN, TiW, Cu und AlSi genutzt.
Eine optionale fünfte Kammer wird für R&D-Zwecke mit anderen Targets benutzt, die im „Lastenheft“ beschrieben werden.
Alle Prozess-Kammern werden automatisch durch einen Robot-Handler beladen.
Das System soll vom Hersteller als „stand-alone-tool“ oder „through the wall“ im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.
Das System muss einen komplett sicheren Prozess-Ablauf ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Bedieners erlauben.

CPV-Codes: 42990000

Erfüllungsort:
Duisburg.
Nuts-Code: DEA12

Verfahren & Unterlagen
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren

Dokumententyp:
Vergebener Auftrag

Vergabeordnung:
Lieferauftrag

Org. Dok.-Nr:
41478-2015

Aktenzeichen:
BM 038/228335/cl-ort

Bedingungen & Nachweise
Zuschlagskriterien:
Wirtschaftlichstes Angebot

Sonstiges
Tag der Zuschlagsentscheidung: 09.01.2015
Anzahl der eingegangenen Angebote: 7

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