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DTAD Deutscher Auftragsdienst

Verfahren zur Vor-Information - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:10894196)

Auftragsdaten
Titel:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DTAD-ID:
10894196
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Verfahren zur Vor-Information
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
26.06.2015
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Partikelzählgerät: Das Partikelmeßgerät dient zur Bestimmung der Anzahl und Größe von unerwünschten Partikeln von hochreinen Siliziumwafern. Durch das Abscannen der Waferoberfläche mittles Laserstrahl können auch Defekte wie Kratzer oder eine zu hohe Öberflächenrauhigkeit erfasst werden. Das Gerät soll für blanke, beschichtete oder strukturierte Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm und 150 mm eingesetzt werden. Die Partikelmessung ist unerlässlich für die Kontaminationsüberwachung unserer Anlagen hinsichtlich der Hardware als auch der Prozeßrezepte. Es soll ein gebrauchtes, generalüberholtes, freistehendes und reinraumtaugliches Meßgerät beschafft werden.
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Originalsprache:
Verfügbare Sprachen:
DE , EN

Vollständige Bekanntmachung
Für Vertragskunden
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