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Ausschreibung - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in München (ID:11135779)

Übersicht
DTAD-ID:
11135779
Region:
80686 München
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vergabe in Losen:
nein
Kurzbeschreibung:
MOVPE System für AlGaN Epitaxie: Es erfolgt eine Ausschreibung für eine F&E MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) Anlage zur Herstellung hochwertiger AlxGa1-xN Epitaxieschichten mit hohem Al...
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
02.09.2015
Frist Angebotsabgabe:
28.09.2015
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Beteiligte Firmen & Vergabestellen
Vergabestelle:
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Hansastr. 27c
80686 München
C2 – Frau Lönz
http://www.fraunhofer.de

Elektronischer Zugang zu Informationen:
http://deutsche-evergabe.de

Elektronische Einreichung von Angeboten und Teilnahmeanträgen:
http://deutsche-evergabe.de

 
Weitere Auskünfte erteilen:
Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Wilhelmstraße 20-22
65185 Wiesbaden
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de

Angebote oder Teilnahmeanträge sind zu richten an:
Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Hansastr. 27c
80686 München
Telefon: +49 6119491060

Ausschreibungs- und ergänzende Unterlagen verschicken:
Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Wilhelmstraße 20-22
65185 Wiesbaden

Öffentliche Ausschreibungen
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Gewonnene / Vergebene Aufträge
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Geschäftsbeziehungen
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Leistungsbeschreibung
Beschreibung:
MOVPE System für AlGaN Epitaxie.
MOVPE System für AlGaN Epitaxie:
Es erfolgt eine Ausschreibung für eine F&E MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) Anlage zur Herstellung hochwertiger AlxGa1-xN Epitaxieschichten mit hohem Al Gehalt auf Substraten mit Durchmessern bis zu 125 mm. Das System soll für die Benutzung hochreiner (8N bis 9N) metallorganischer Pozessgase für das Wachstum und Dotierung (i. e. H2, N2, NH3, TMGa, TMAl, SiH4 oder Si2H6, Cp2Mg) bei Prozesstemperaturen bis zu 1 300°C (idealerweise ≥1400°C) und Prozessdrücken von 50 bis 800 mbar ausgelegt sein. Alle verwendeten Materialien, insbesondere die Prozessgasen und erhöhten Temperaturen ausgesetzt sind, müssen eine sichere Prozessführung über längere Zeiträume hinweg erlauben. Das Reaktorkonzept soll flexible Konfigurationen für verschiedene Substratdurchmesser ermöglichen (insbesondere: 3 x 2", ≥ 1 x 3", 1 x 100 mm, 1 x 125 mm) und gleichzeitig typische Betriebskosten innerhalb einer F&E Umgebung minimieren. Neben der Reaktionskammer selbst mit der integrierten Substrathalteranordnung muss das System alle notwendigen Komponenten für einen kontrollierten Epitaxieprozess beinhalten (Heizsystem, Prozesskontrolle, Gaszuführung, Gasreinigung, Vakuumsystem, Druckkontrolle, Abgasbehandlung, Kühlsystem, Sicherheitssystem). Die Leckrate der Reaktionskammer soll 5109 mbarl/s nicht überschreiten (per He-Lecktest zu verifizieren). Zur Ermöglichung von Kontrollmessungen auf dem Substrat während der Prozessführung, insbesondere von Temperatur, Schichtdicke und Substratkrümmung müssen entsprechende optische Zugänge in das Reaktordesign integriert werden. Gleichzeitig soll jedoch darauf geachtet werden, dass ein negativer Einfluss auf die Temperaturhomogenität entlang der Substrate minimiert wird. Die Reaktionskammer soll über eine separate „glove box” mit “load lock” zugänglich sein, um eine Kontamination mit Sauerstoff oder Luftfeuchtigkeit zu minimieren. Das System soll eine maximale Konstruktionshöhe von 2,70 m nicht überschreiten und den Standards einer CE Sicherheitszertifizierung entsprechen.
1. Stück.

CPV-Codes: 42990000

Erfüllungsort:
Erlangen.
Nuts-Code: DE252

Verfahren & Unterlagen
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren

Dokumententyp:
Ausschreibung

Vergabeordnung:
Lieferauftrag

Org. Dok.-Nr:
307965-2015

Aktenzeichen:
E_079_225317_cl-wit

Vergabeunterlagen:
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch
den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).
Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Termine & Fristen
Angebotsfrist:
28.09.2015

Ausführungsfrist:
Laufzeit in Monaten: 7 (ab Auftragsvergabe)

Bedingungen & Nachweise
Zahlung:
Siehe Verdingungsunterlagen.

Zuschlagskriterien:
Wirtschaftlichstes Angebot

Geforderte Nachweise:
Persönliche Lage des Wirtschaftsteilnehmers
(1) Firmenprofil.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre.
(3) Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung.
(4) Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet.
(5) Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.
(6) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische Leistungsfähigkeit
(7) Komplette Referenzen (Kontaktdaten, Ansprechpartner) über MOVPE Anlagen für die Epitaxie von AlGaN Verbindungen, nicht älter als 3 Jahre und Nennung der Anzahl solcher installierten Anlagen.

Bitte beachten Sie: Die Darstellung des Dokumentes auf dieser Seite wurde angepasst. Die ursprüngliche Version finden Sie hier.
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