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DTAD Deutscher Auftragsdienst

Ausschreibung - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke in Erlangen (ID:14148294)

DTAD-ID:
14148294
Region:
91052 Erlangen
Auftragsart:
Archiviertes Dokument
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Verfahrensart:
Verhandlungsverfahren
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte
CPV-Codes:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Kurzbeschreibung:
Gerät mit automatischem Waferhandling zum Ätzen von Oxidmasken, Justiermarken und Gräben auf SiC-Scheiben. Durch ein elektrostatisches Klemmen der Scheiben auf dem Substratchuck sollen auch...
Informationsstand
DTAD-Veröffentlichung:
14.06.2018
Frist Angebotsabgabe:
12.07.2018
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