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Ausschreibung - Industrielle Maschinen in München (ID:6879288)

Auftragsdaten
Titel:
Industrielle Maschinen
DTAD-ID:
6879288
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
04.02.2012
Frist Angebotsabgabe:
12.03.2012
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Kombinierte PECVD-Plasmaätzanlage für den Laborbereich. Eine kombinierte Beschichtungs- und Ätzanlage bestehend aus zwei unabhängig bedienbaren Modulen, einem PECVD Modul und einem Plasmaätzmodul mit ICP Quelle. Die Anlage soll zu Forschungszwecken eingesetzt werden und Substrate bis 200 mm Durchmesser bearbeiten können. Dabei steht nicht ein produktionsrelevanter Waferdurchsatz im Vordergrund sondern vielmehr die flexible Handhabung der Prozessparameter und Reproduzierbarkeit. Mit dem PECVD Modul sollen insbesondere Silizium-Nanodrähte gewachsen werden bzw. Silizium Dünnschichten abgeschieden werden. Das ICP Ätzmodul wird zur Strukturierung von metallischen Dünnschichten und zum Deep-Silicon ätzen eingesetzt. Jedes Modul soll über einen eigenen Load-lock verfügen und PC gesteuert sein. Die Lieferung soll als Komplettsystem mit den notwendigen Komponenten für Temperierung, Abgasreinigung und Vakuumpumpen erfolgen.
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte, Werkzeugmaschinen
CPV-Codes:
Industrielle Maschinen
Vergabe in Losen:
nein
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  39104-2012

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Hansastr. 27c
Zu Händen von: Carla Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
Telefon: +49 891205-3229
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Fax: +49 891205-7548
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: www.fraunhofer.de
Weitere Auskünfte erteilen: die oben genannten Kontaktstellen
Ausschreibungs- und ergänzende Unterlagen (einschließlich Unterlagen für den wettbewerblichen Dialog und ein dynamisches Beschaffungssystem) verschicken: die oben genannten Kontaktstellen Angebote oder Teilnahmeanträge sind zu richten an: Fraunhofer Gesellschaft Nur Elektronisch Kontaktstelle(n): BM 028/246931/CL Zu Händen von: Frau Lönz 80686 München DEUTSCHLAND E-Mail: Einkauf@zv.fraunhofer.de
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e.V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung & Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II: Auftragsgegenstand
II.1) Beschreibung
II.1.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber:
Kombinierte PECVD-Plasmaätzanlage für den Laborbereich.
II.1.2) Art des Auftrags und Ort der Ausführung, Lieferung bzw.
Dienstleistung Lieferauftrag Kauf Hauptort der Ausführung, Lieferung oder Dienstleistungserbringung: Bremen. NUTS-Code DE501
II.1.3) Angaben zum öffentlichen Auftrag, zur Rahmenvereinbarung oder zum
dynamischen Beschaffungssystem (DBS) Die Bekanntmachung betrifft einen öffentlichen Auftrag
II.1.5) Kurze Beschreibung des Auftrags oder Beschaffungsvorhabens
Eine kombinierte Beschichtungs- und Ätzanlage bestehend aus zwei unabhängig bedienbaren Modulen, einem PECVD Modul und einem Plasmaätzmodul mit ICP Quelle. Die Anlage soll zu Forschungszwecken eingesetzt werden und Substrate bis 200 mm Durchmesser bearbeiten können. Dabei steht nicht ein produktionsrelevanter Waferdurchsatz im Vordergrund sondern vielmehr die flexible Handhabung der Prozessparameter und Reproduzierbarkeit. Mit dem PECVD Modul sollen insbesondere Silizium-Nanodrähte gewachsen werden bzw. Silizium Dünnschichten abgeschieden werden. Das ICP Ätzmodul wird zur Strukturierung von metallischen Dünnschichten und zum Deep-Silicon ätzen eingesetzt. Jedes Modul soll über einen eigenen Load-lock verfügen und PC gesteuert sein. Die Lieferung soll als Komplettsystem mit den notwendigen Komponenten für Temperierung, Abgasreinigung und Vakuumpumpen erfolgen.
II.1.6) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42000000
II.1.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
II.1.8) Lose
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.9) Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja
II.2) Menge oder Umfang des Auftrags
II.2.1) Gesamtmenge bzw. -umfang:
Je 1 Stck.
II.2.2) Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.3) Angaben zur Vertragsverlängerung
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.3) Vertragslaufzeit bzw. Beginn und Ende der Auftragsausführung
Laufzeit in Monaten: 6 (ab Auftragsvergabe)
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
III.1) Bedingungen für den Auftrag
III.1.2) Wesentliche Finanzierungs- und Zahlungsbedingungen und/oder
Verweis auf die maßgeblichen Vorschriften: Siehe Verdingungsunterlagen.
III.1.4) Sonstige besondere Bedingungen
Für die Ausführung des Auftrags gelten besondere Bedingungen: ja Darlegung der besonderen Bedingungen: — Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV 3.4 genannten Termin vollständig vorzulegen, — Bitte senden Sie die geforderten Unterlagen per Email an Einkauf@zv.fraunhofer.de. Vermerken Sie bitte die Bezugsnummer BM 028/246931/CL in der Betreffzeile.
III.2) Teilnahmebedingungen
III.2.1) Persönliche Lage des Wirtschaftsteilnehmers sowie Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: — Firmenprofil.
III.2.2) Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: — Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre, — Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben, — Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.
III.2.3) Technische Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: — Komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen für R&D Zwecke, nicht älter als 3 Jahre.
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1) Verfahrensart
IV.1.1) Verfahrensart
Verhandlungsverfahren Einige Bewerber sind bereits ausgewählt worden (ggf. nach einem bestimmten Verhandlungsverfahren) nein
IV.1.2) Beschränkung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer, die zur
Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden Geplante Mindestzahl 3: und Höchstzahl 5 Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien.
IV.1.3) Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer im Laufe der
Verhandlung bzw. des Dialogs Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu verhandelnden Angebote ja
IV.2) Zuschlagskriterien
IV.2.1) Zuschlagskriterien
das wirtschaftlich günstigste Angebot in Bezug auf die Kriterien, die in den Ausschreibungsunterlagen, der Aufforderung zur Angebotsabgabe oder zur Verhandlung bzw. in der Beschreibung zum wettbewerblichen Dialog aufgeführt sind
IV.2.2) Angaben zur elektronischen Auktion
Eine elektronische Auktion wird durchgeführt: nein
IV.3) Verwaltungsangaben
IV.3.1) Aktenzeichen beim öffentlichen Auftraggeber:
BM 028/246931/CL
IV.3.2) Frühere Bekanntmachung(en) desselben Auftrags
nein
IV.3.3) Bedingungen für den Erhalt von Ausschreibungs- und ergänzenden Unterlagen bzw. der Beschreibung Kostenpflichtige Unterlagen:
nein
IV.3.4) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
12.3.2012
IV.3.6) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge verfasst werden können
Deutsch. Englisch.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.3) Zusätzliche Angaben
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).
VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt Kaiser-Friedrich-Str. 16 53175 Bonn DEUTSCHLAND Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23 Heinemannstr. 2 53175 Bonn DEUTSCHLAND
VI.4.2) Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.
VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
2.2.2012
DTAD
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