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DTAD Deutscher Auftragsdienst

Vergebener Auftrag - Industrielle Maschinen in München (ID:7220513)

Auftragsdaten
Titel:
Industrielle Maschinen
DTAD-ID:
7220513
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Vergebener Auftrag
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
01.06.2012
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Auftragnehmer:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Kombinierte PECVD-Plasmaätzanlage für den Laborbereich. Eine kombinierte Beschichtungs- und Ätzanlage bestehend aus 2 unabhängig bedienbaren Modulen, einem PECVD Modul und einem Plasmaätzmodul mit ICP Quelle. Die Anlage soll zu Forschungszwecken eingesetzt werden und Substrate bis 200 mm Durchmesser bearbeiten können. Dabei stehet nicht ein produktionsrelevanter Waferdurchsatz im Vordergrund sondern vielmehr die flexible Handhabung der Prozessparameter und Reproduzierbarkeit. Mit dem PECVD Modul sollen insbesondere Silizium-Nanodrähte gewachsen werden bzw. Silizium Dünnschichten abgeschieden werden. Das ICP Ätzmodul wird zur Strukturierung von metallischen Dünnschichten und zum Deep-Silicon ätzen eingesetzt. Jedes Modul soll über einen eigenen Load-lock verfügen und PC gesteuert sein. Die Lieferung soll als Komplettsystem mit den notwendigen Komponenten für Temperierung, Abgasreinigung und Vakuumpumpen erfolgen.
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte, Werkzeugmaschinen
CPV-Codes:
Industrielle Maschinen
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Originalsprache:
Verfügbare Sprachen:
DE , EN

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