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Vergebener Auftrag - Industrielle Maschinen in München (ID:7220513)

Auftragsdaten
Titel:
Industrielle Maschinen
DTAD-ID:
7220513
Region:
80686 München
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Vergebener Auftrag
Vergebener Auftrag
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
01.06.2012
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Auftragnehmer:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
Kombinierte PECVD-Plasmaätzanlage für den Laborbereich. Eine kombinierte Beschichtungs- und Ätzanlage bestehend aus 2 unabhängig bedienbaren Modulen, einem PECVD Modul und einem Plasmaätzmodul mit ICP Quelle. Die Anlage soll zu Forschungszwecken eingesetzt werden und Substrate bis 200 mm Durchmesser bearbeiten können. Dabei stehet nicht ein produktionsrelevanter Waferdurchsatz im Vordergrund sondern vielmehr die flexible Handhabung der Prozessparameter und Reproduzierbarkeit. Mit dem PECVD Modul sollen insbesondere Silizium-Nanodrähte gewachsen werden bzw. Silizium Dünnschichten abgeschieden werden. Das ICP Ätzmodul wird zur Strukturierung von metallischen Dünnschichten und zum Deep-Silicon ätzen eingesetzt. Jedes Modul soll über einen eigenen Load-lock verfügen und PC gesteuert sein. Die Lieferung soll als Komplettsystem mit den notwendigen Komponenten für Temperierung, Abgasreinigung und Vakuumpumpen erfolgen.
Kategorien:
Sonstige Maschinen, Geräte, Werkzeugmaschinen
CPV-Codes:
Industrielle Maschinen
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  171575-2012

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Lieferauftrag Richtlinie 2004/18/EG
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name, Adressen und Kontaktstelle(n)
Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Hansastr. 27 c
Zu Händen von: Carla Lönz
80686 München
DEUTSCHLAND
Telefon: +49 891205-3229
E-Mail: Einkauf@zv.fraunhofer.de
Fax: +49 891205-7548
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse des öffentlichen Auftraggebers: http://www.fraunhofer.de
I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers
Sonstige: Forschungsgesellschaft e.V.
I.3) Haupttätigkeit(en)
Sonstige: Forschung u. Entwicklung
I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber
Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein
Abschnitt II: Auftragsgegenstand
II.1) Beschreibung
II.1.1) Bezeichnung des Auftrags
Kombinierte PECVD-Plasmaätzanlage für den Laborbereich.
II.1.2) Art des Auftrags und Ort der Ausführung, Lieferung bzw.
Dienstleistung Lieferauftrag Kauf Hauptort der Ausführung, Lieferung oder Dienstleistungserbringung: Bremen. NUTS-Code DE501
II.1.4) Kurze Beschreibung des Auftrags oder Beschaffungsvorhabens
Eine kombinierte Beschichtungs- und Ätzanlage bestehend aus 2 unabhängig bedienbaren Modulen, einem PECVD Modul und einem Plasmaätzmodul mit ICP Quelle. Die Anlage soll zu Forschungszwecken eingesetzt werden und Substrate bis 200 mm Durchmesser bearbeiten können. Dabei stehet nicht ein produktionsrelevanter Waferdurchsatz im Vordergrund sondern vielmehr die flexible Handhabung der Prozessparameter und Reproduzierbarkeit. Mit dem PECVD Modul sollen insbesondere Silizium-Nanodrähte gewachsen werden bzw. Silizium Dünnschichten abgeschieden werden. Das ICP Ätzmodul wird zur Strukturierung von metallischen Dünnschichten und zum Deep-Silicon ätzen eingesetzt. Jedes Modul soll über einen eigenen Load-lock verfügen und PC gesteuert sein. Die Lieferung soll als Komplettsystem mit den notwendigen Komponenten für Temperierung, Abgasreinigung und Vakuumpumpen erfolgen.
II.1.5) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
42000000
II.1.6) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): ja
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1) Verfahrensart
IV.1.1) Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit einem Aufruf zum Wettbewerb
IV.2) Zuschlagskriterien
IV.2.1) Zuschlagskriterien
das wirtschaftlich günstigste Angebot in Bezug auf 1. Preis. Gewichtung 35 2. Technische Ausführung. Gewichtung 45 3. Service. Gewichtung 15 4. Lieferzeit. Gewichtung 5
IV.2.2) Angaben zur elektronischen Auktion
Eine elektronische Auktion wurde durchgeführt: nein
IV.3) Verwaltungsangaben
IV.3.1) Aktenzeichen beim öffentlichen Auftraggeber
BM028/246931/cl
IV.3.2) Frühere Bekanntmachung(en) desselben Auftrags
Bekanntmachung eines Beschafferprofils
Bekanntmachungsnummer im ABl: 2012/S 024-039104 vom 4.2.2012
Abschnitt V: Auftragsvergabe
V.1) Tag der Zuschlagsentscheidung:
22.5.2012
V.2) Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
V.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der
Zuschlag erteilt wurde Oxford Instruments GmbH Postfach 4509 65035 Wiesbaden DEUTSCHLAND
V.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen
Es können Unteraufträge vergeben werden: nein
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein
VI.3) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.3.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt Kaiser-Friedrich-Str. 16 53175 Bonn DEUTSCHLAND Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23 Heinemannstr. 2 53175 Bonn DEUTSCHLAND
VI.3.2) Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107, Abs. 3, Satz 1, Nr. 4, Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101 a GWB informiert.
VI.4) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
30.5.2012
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