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Ausschreibung - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) in Bonn (ID:4219726)

Auftragsdaten
Titel:
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DTAD-ID:
4219726
Region:
53175 Bonn
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Ausschreibung
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
14.08.2009
Frist Angebotsabgabe:
25.08.2009
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
UHV Sputter- und Verdampferkammer nach Kundenspezifikation: a) Kammern: ? Ultrahochvakuum: < 10-10mbar, ? Probengr??e: von Standard Omicron Probenhalter (10 mm x 10 mm) bis 2?-wafer, ? Probentemperatur während Deponierung von -180?C bis 750?C (O2-Umgebung), ? Probenteller drehbar während der Abscheidung (ca. 20 rpm, Raumtemperatur ? Endtemperatur), ? Probenteller kann auf definiertes Potential gebracht werden, ? Durchf?hrungen für min. sechs Sputter- und/oder Verdampferquellen, ? Horizontale Durchführung für Elektronenstrahlverdampfer (3 bis 6 getrennte Öfen), ? Probenschleuse für 2?-Proben, ? Ionengetter-, Ti-Sublimations- und Turbopumpensystem mit Steuerger?ten, ? ?ffnungsdurchmesser zwischen Kammer und Pumpe über Ventil stufenlos kontrollierbar, ? Zusätzliche Ports für Schichtdickenmonitor, Quadrupolmassenspektrometer, Oberfl?chenanalyse, Druckmesssung, Gaseinlass und Probenbeobachtung, ? Belüftungsventil, Fensterflansche und Verschlussflansche, ? Gas-Einlass über Pr?zisionsleckventil und Zuführung (Nupro), ? Druckme?einrichtung mit Steuergerät, ? Kompakter Aufbau mit Ausheizvorrichtung und Gaszufuhrsystem; Unterbringung der Steuergeräte, ? Anpassung und Ports für Probentransfer zu vorhandenem Probenanalysesystem. b) x, y, z-Pr?zisionsmanipulator: ? Probengr??e: von Standard Omicron Probenhalter (10 mm x 10 mm) bis 2?-wafer, ? Probentemperatur während Deponierung von -180?C bis 750?C (O2-Umgebung), ? Probenteller drehbar während der Abscheidung (ca. 20 rpm, Raumtemperatur ? Endtemperatur), ? Probenteller kann auf definiertes DC- und RF -Potential gebracht werden, ? Fl?ssig-Stickstoff-Kühlfalle, Temperatursteuerger?t und Stromversorgung für Heizer. c) Zwei Elektronenstrahlverdampfer für Fl?chen von 10 mm bis 50 mm Durchmesser mit Stromversorgung und Steuerger?ten. d) Gasflusscontroller und Gaszufuhrsystem für vier Gase. e) Zwei DC/RF Magnetron-Sputterquellen für 2?-Proben mit Steuergerät und Stromversorgung; einstellbarer Quellenwinkel. f) Schichtdicken Me?- und Steuergerät mit Stromversorgung.
Kategorien:
Mess-, Kontroll-, Prüf-, Navigationsinstrumente
CPV-Codes:
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Vergabe in Losen:
II.1.9) Varianten/Alternativangebote sind zulässig: Ja.
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Vollständige Bekanntmachung
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Org. Dok.-Nr:  226384-2009

BEKANNTMACHUNG Lieferauftrag

ABSCHNITT I: ÖFFENTLICHER AUFTRAGGEBER
I.1) NAME, ADRESSEN UND KONTAKTSTELLE(N):
Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle, Kennedyallee 40, z. Hd. von Herrn Boris Licker, D-53175 Bonn. Tel. +49 228885-2105. E-Mail: Boris.Licker@dfg.de. Fax +49 228885-3676. Internet-Adresse(n): Hauptadresse des Auftraggebers: www.dfg.de. Weitere Auskünfte erteilen: die oben genannten Kontaktstellen. Verdingungs-/Ausschreibungs- und ergänzende Unterlagen (einschließlich Unterlagen für den wettbewerblichen Dialog und ein dynamisches Beschaffungssystem) sind erhältlich bei: den oben genannten Kontaktstellen. Angebote/Teilnahmeanträge sind zu richten an: die oben genannten Kontaktstellen.
I.2) ART DES ÖFFENTLICHEN AUFTRAGGEBERS UND HAUPTTÄTIGKEIT(EN):
Sonstiges: e.V. Sonstiges: Forschungsförderung. Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer Öffentlicher Auftraggeber: Nein. ABSCHNITT II: AUFTRAGSGEGENSTAND
II.1) BESCHREIBUNG
II.1.1) Bezeichnung des Auftrags durch den Auftraggeber:
Beschaffung einer UHV-Sputter- und Verdampferkammer (DFG-GZ: A 569).
II.1.2) Art des Auftrags sowie Ort der Ausführung, Lieferung bzw. Dienstleistung:
Lieferung. Kauf. Hauptlieferort: TU Darmstadt. NUTS-Code: DE71.
II.1.3) Gegenstand der Bekanntmachung:
Öffentlicher Auftrag.
II.1.5) Kurze Beschreibung des Auftrags oder Beschaffungsvorhabens:
UHV Sputter- und Verdampferkammer nach Kundenspezifikation: a) Kammern: ? Ultrahochvakuum: < 10-10mbar, ? Probengr??e: von Standard Omicron Probenhalter (10 mm x 10 mm) bis 2?-wafer, ? Probentemperatur während Deponierung von -180?C bis 750?C (O2-Umgebung), ? Probenteller drehbar während der Abscheidung (ca. 20 rpm, Raumtemperatur ? Endtemperatur), ? Probenteller kann auf definiertes Potential gebracht werden, ? Durchf?hrungen für min. sechs Sputter- und/oder Verdampferquellen, ? Horizontale Durchführung für Elektronenstrahlverdampfer (3 bis 6 getrennte Öfen), ? Probenschleuse für 2?-Proben, ? Ionengetter-, Ti-Sublimations- und Turbopumpensystem mit Steuerger?ten, ? ?ffnungsdurchmesser zwischen Kammer und Pumpe über Ventil stufenlos kontrollierbar, ? Zusätzliche Ports für Schichtdickenmonitor, Quadrupolmassenspektrometer, Oberfl?chenanalyse, Druckmesssung, Gaseinlass und Probenbeobachtung, ? Belüftungsventil, Fensterflansche und Verschlussflansche, ? Gas-Einlass über Pr?zisionsleckventil und Zuführung (Nupro), ? Druckme?einrichtung mit Steuergerät, ? Kompakter Aufbau mit Ausheizvorrichtung und Gaszufuhrsystem; Unterbringung der Steuergeräte, ? Anpassung und Ports für Probentransfer zu vorhandenem Probenanalysesystem. b) x, y, z-Pr?zisionsmanipulator: ? Probengr??e: von Standard Omicron Probenhalter (10 mm x 10 mm) bis 2?-wafer, ? Probentemperatur während Deponierung von -180?C bis 750?C (O2-Umgebung), ? Probenteller drehbar während der Abscheidung (ca. 20 rpm, Raumtemperatur ? Endtemperatur), ? Probenteller kann auf definiertes DC- und RF -Potential gebracht werden, ? Fl?ssig-Stickstoff-Kühlfalle, Temperatursteuerger?t und Stromversorgung für Heizer. c) Zwei Elektronenstrahlverdampfer für Fl?chen von 10 mm bis 50 mm Durchmesser mit Stromversorgung und Steuerger?ten. d) Gasflusscontroller und Gaszufuhrsystem für vier Gase. e) Zwei DC/RF Magnetron-Sputterquellen für 2?-Proben mit Steuergerät und Stromversorgung; einstellbarer Quellenwinkel. f) Schichtdicken Me?- und Steuergerät mit Stromversorgung.
II.1.6) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV):
38000000.
II.1.7) Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA):
Nein.
II.1.8) Aufteilung in Lose:
Nein.
II.1.9) Varianten/Alternativangebote sind zulässig:
Ja.
II.2) MENGE ODER UMFANG DES AUFTRAGS
II.2.1) Gesamtmenge bzw. -umfang:
1 System. ABSCHNITT III: RECHTLICHE, WIRTSCHAFTLICHE, FINANZIELLE UND TECHNISCHE INFORMATIONEN
III.1) BEDINGUNGEN FÜR DEN AUFTRAG
III.1.2) Wesentliche Finanzierungs- und Zahlungsbedingungen bzw. Verweis auf die maßgeblichen Vorschriften (falls zutreffend):
Anzahlungen bis zur Höhe von max. 50 % des Kaufpreises werden nur gegen unbefritete Bankbürgschaft nach deutschem Recht geleistet.
III.2) TEILNAHMEBEDINGUNGEN
III.2.3) Technische Leistungsfähigkeit:
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu ?berpr?fen: Referenzliste bereits gelieferter Systeme gleichen Typs. ABSCHNITT IV: VERFAHREN
IV.1) VERFAHRENSART
IV.1.1) Verfahrensart:
Beschleunigtes Verhandlungsverfahren. Gründe für die Wahl des beschleunigten Verfahrens: Dringendes Forschungsvorhaben.
IV.2) ZUSCHLAGSKRITERIEN
IV.2.1) Zuschlagskriterien:
Wirtschaftlich günstigstes Angebot in Bezug auf die nachstehenden Kriterien: 1. Technischer Wert. Gewichtung: 50. 2. Preis.
IV.2.2) Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt:
Nein.
IV.3) VERWALTUNGSINFORMATIONEN
IV.3.1) Aktenzeichen beim öffentlichen Auftraggeber:
EXC 259/2009.
IV.3.2) Frühere Bekanntmachungen desselben Auftrags:
Nein.
IV.3.4) Schlusstermin für den Eingang der Angebote bzw. Teilnahmeanträge:
25.8.2009.
IV.3.5) Tag der Absendung der Aufforderung zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber:
31.8.2009.
IV.3.6) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge verfasst werden können:
Deutsch. ABSCHNITT VI: ZUSÄTZLICHE INFORMATIONEN
VI.1) DAUERAUFTRAG:
Nein.
VI.2) AUFTRAG IN VERBINDUNG MIT EINEM VORHABEN UND/ODER PROGRAMM, DAS AUS GEMEINSCHAFTSMITTELN FINANZIERT WIRD:
Nein.
VI.5) TAG DER ABSENDUNG DIESER BEKANNTMACHUNG:
10.8.2009.
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