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DTAD Deutscher Auftragsdienst

Ausschreibung - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) in Bonn (ID:4219726)

Auftragsdaten
Titel:
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DTAD-ID:
4219726
Region:
53175 Bonn
Auftragsart:
Europäische Ausschreibung
Dokumententyp:
Ausschreibung
Termine und Fristen
DTAD-Veröffentlichung:
14.08.2009
Frist Angebotsabgabe:
25.08.2009
Beteiligte Firmen und Vergabestellen
Vergabestelle:
Zusätzliche Informationen
Kurzbeschreibung:
UHV Sputter- und Verdampferkammer nach Kundenspezifikation: a) Kammern: ? Ultrahochvakuum: < 10-10mbar, ? Probengr??e: von Standard Omicron Probenhalter (10 mm x 10 mm) bis 2?-wafer, ? Probentemperatur während Deponierung von -180?C bis 750?C (O2-Umgebung), ? Probenteller drehbar während der Abscheidung (ca. 20 rpm, Raumtemperatur ? Endtemperatur), ? Probenteller kann auf definiertes Potential gebracht werden, ? Durchf?hrungen für min. sechs Sputter- und/oder Verdampferquellen, ? Horizontale Durchführung für Elektronenstrahlverdampfer (3 bis 6 getrennte Öfen), ? Probenschleuse für 2?-Proben, ? Ionengetter-, Ti-Sublimations- und Turbopumpensystem mit Steuerger?ten, ? ?ffnungsdurchmesser zwischen Kammer und Pumpe über Ventil stufenlos kontrollierbar, ? Zusätzliche Ports für Schichtdickenmonitor, Quadrupolmassenspektrometer, Oberfl?chenanalyse, Druckmesssung, Gaseinlass und Probenbeobachtung, ? Belüftungsventil, Fensterflansche und Verschlussflansche, ? Gas-Einlass über Pr?zisionsleckventil und Zuführung (Nupro), ? Druckme?einrichtung mit Steuergerät, ? Kompakter Aufbau mit Ausheizvorrichtung und Gaszufuhrsystem; Unterbringung der Steuergeräte, ? Anpassung und Ports für Probentransfer zu vorhandenem Probenanalysesystem. b) x, y, z-Pr?zisionsmanipulator: ? Probengr??e: von Standard Omicron Probenhalter (10 mm x 10 mm) bis 2?-wafer, ? Probentemperatur während Deponierung von -180?C bis 750?C (O2-Umgebung), ? Probenteller drehbar während der Abscheidung (ca. 20 rpm, Raumtemperatur ? Endtemperatur), ? Probenteller kann auf definiertes DC- und RF -Potential gebracht werden, ? Fl?ssig-Stickstoff-Kühlfalle, Temperatursteuerger?t und Stromversorgung für Heizer. c) Zwei Elektronenstrahlverdampfer für Fl?chen von 10 mm bis 50 mm Durchmesser mit Stromversorgung und Steuerger?ten. d) Gasflusscontroller und Gaszufuhrsystem für vier Gase. e) Zwei DC/RF Magnetron-Sputterquellen für 2?-Proben mit Steuergerät und Stromversorgung; einstellbarer Quellenwinkel. f) Schichtdicken Me?- und Steuergerät mit Stromversorgung.
Kategorien:
Mess-, Kontroll-, Prüf-, Navigationsinstrumente
CPV-Codes:
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Vergabe in Losen:
II.1.9) Varianten/Alternativangebote sind zulässig: Ja.
Vergabeordnung:
Lieferauftrag (VOL)
Originalsprache:
Verfügbare Sprachen:
DE

Vollständige Bekanntmachung
Für Vertragskunden
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Zugehörige Dokumente
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Vergabeunterlagen
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